Задачи к уроку 11-12 Домашнее задание
7аг обществознание
Готовое домашнее задание вариант №12
Документ из архива «Готовое домашнее задание вариант №12″, который расположен в категории » «. Всё это находится в предмете «вакуумные системы технологического оборудования» из раздела «», которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе «курсовые/домашние работы», в предмете «вакуумные системы технологического оборудования» в общих файлах.
Онлайн просмотр документа «Готовое домашнее задание вариант №12»
Текст из документа «Готовое домашнее задание вариант №12»
Московский Государственный технический Университет им. Н. Э. Баумана
РАСЧЕТ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
Домашнее задание по курсу
«Физика вакуума»
Исходные данные:
Откачиваемый прибор: Камера (Ион. импл.)
Суммарный поток газовыделения:
Тип откачки: безмасляная
Рассчитать эффективную(требуемую) скорость откачки.
Выбрать и обосновать тип насоса окончательной откачки (с учетом типа вакуума)
Составить вакуумную схему с учетом выбранного типа высоковакуумного насоса.
БОНУС: предложить альтернативную схему с указанием достоинств и недостатков обоих схем.
Выбрать и обосновать типоразмер насоса окончательной откачки (с учетом коэффициента запаса)
Выбрать и обосновать типоразмер предварительной откачки (с учетом согласования насосов)
Выбрать и обосновать тип и типоразмер запорной арматуры (клапаны, затворы)
Выбрать и обосновать тип и типоразмер вакуумных датчиков.
Выбрать и обосновать тип и типоразмер дополнительных элементов вакуумной системы (ловушки, натекатели)
Выбрать и обосновать тип вакуумных соединений и уплотнений.
Составить перечень элементов, входящих в вакуумную схему с указанием типа, типоразмера, марки, производителя и количества.
Схема вакуумной системы
Определение и обоснование типоразмер окончательной высоковакуумной откачки:
Требуемая быстрота откачки:
Требуемая быстрота откачки с учетом коэффициента запаса (определение типоразмер окончательной откачки):
Предельное давление насоса рекомендуется брать хотя бы на один порядок больше рабочего давления т.е:
По данным параметрам ( ) и с учетом типа откачки (безмасляная) нам подходит только криогенный насос. Выбираем криогенный насос HSR VCP100.
Определение и обоснование типоразмер первой высоковакуумной откачки:
Требуемая быстрота откачки:
Требуемая быстрота откачки с учетом коэффициента запаса (определение типоразмер окончательной откачки):
Предельное давление насоса рекомендуется брать хотя бы на один порядок больше рабочего давления т.е:
По данным параметрам ( ) и с учетом типа откачки (безмасляная) нам подходят насосы турбомолекулярные (безмасл.), магниторазрядные (нужное нам предельное давление не соответствует с быстротой откачки или откачиваемым объемом), криогенные (Слишком большие предельные давления и скорость откачки+ дорогие, большие габариты). Поэтому экономичнее и технологичнее выбрать турбомолекулярный насос. Выбираем насос турбомолекулярный EXT75DX (компании Edwards):
Определения и обоснование типоразмер форвакуумной откачки:
Рекомендуемая быстрота действия насоса при форвакуумной откачке:
Выбираем спиральный насос nXDS6i (для эффективности откачки и повышения производительность Высоковакуумного -насоса), нам требуется безмасляный вакуум (Ион. импл. требует очень высокой чистоты, т.е даже условно масляная откачка нам не подходит) + по нашим требуемым параметрам форвакуумного насоса этот вполне подходит):
Датчики (+по диапазону измерения ), клапаны, затворы, переходники, крестовины, тройники, уплотнители (материал рекомендуется: для СВВ – металлический, для ВВ- NBR) в основном выбираются по диаметру фланца.
+ Все датчики от одного производителя (Edwards), чтобы подключить их к одному контроллеру (Edwards).
Я выбрал электромагнитные (электропневматические) затворы и клапаны чтобы была возможность полностью автоматизировать процесс откачки.
Натекателей в системе не должно быть, т.к. не используется рабочий газ. Ловушек тоже нет, т.к. выбранные насосы и так обеспечивают безмасляную откачку.
В некоторых случаях выбора элементов вакуумной системы я не учитывал экономический подход, т.к. производство у меня индивидуальное.
Т.к. диаметр выходного фланца ВВ-насоса и диаметр входного фланца форвакуумного насоса в моей системе не совпали, я использовал конический переходник для их соединения.